二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 620B #9315281 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 620B是一种强大可靠的溅射设备，设计用于材料研究应用。采用磁控管布置，使基板加热程度高，沉积参数控制精确，沉积膜均匀性好。该系统能够溅射从金属、合金和复合材料到半导体的各种材料，进一步控制沉积厚度和组成。ADIXEN 620B是围绕高速旋转和摆臂机构构建的,该机构能够将溅射电极从一种材料快速切换到另一种材料,这是多元件薄膜的基本特征。这也确保目标上的电位分布即使在长沉积过程中也保持均匀。该单元强大的控制单元可用于实时监控目标的压力、温度、沉积速率、基板偏置、电气特性等工艺参数。这使得它对于研究应用极为准确、精确、可靠。然后将机器与通用的大型机和用户界面结合起来。这种组合为大量沉积参数的操纵提供了直观的界面。它也可用于沉积过程的编程。强大的控制单元还确保了该工具高度自动化，具有快速的反应时间，允许快速的温度变化和压力稳定性。ALCATEL 620B非常适合于大多数材料研究目的，因为它设计用于处理各种材料，包括金属、合金和化合物。内置的目标加热功能还允许各种材料通过电子束从液体或固体中可靠地、均匀地蒸发。该软件还包括设施和跟踪功能，使资产适合多层不同材料的沉积。总体而言，620B是为材料研究应用而设计的高效可靠的溅射模型。具有良好的沉积参数控制和良好的沉积膜均匀性。用户友好的软件有助于使设备在广泛的应用中灵活可靠。