二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Classic 500 #293807137 待售

ID: 293807137
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6".
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER Classic 500是一种用途广泛的溅射设备,设计用于从研发到大规模生产的广泛应用的薄膜沉积工艺。这套先进的系统集成了尖端技术,在各种基材上提供可靠、优质的薄膜涂层。溅射过程是一种物理气相沉积技术,涉及用高能离子轰击目标材料,在基板上形成薄膜。ADIXEN Classic 500利用磁控管溅射技术,高效控制溅射技术,达到精确的薄膜厚度和成分。ALCATEL Classic 500的关键特性之一就是模块化设计,它允许方便的定制和扩展,以满足特定的流程要求。该单元由真空室、磁控管源、电源、气体输送机和控制单元组成。真空室采用优质材料构造,为溅射过程保持稳定清洁的环境。PFEIFFER Classic 500中的磁控管源装有产生强磁场的大功率磁体,以提升等离子体密度和电离效率。这样可以提高溅射率和胶片质量。该工具可以容纳多个磁控管源,允许不同材料的共溅射,从而产生复杂的多层薄膜。Classic 500中的电源设计用于向磁控管源传递精确的直流或脉冲直流电源,从而能够控制溅射过程参数,如沉积速率、薄膜均匀性和粘附性。气体输送资产提供了可靠的过程气体供应,如氙气或反应性气体,以产生所需的薄膜成分。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER Classic 500的控制单元配备了一个用户友好界面,可以方便编程和监控溅射过程。操作员可以设置和调整过程参数,实时监控模型性能,并存储过程配方以获得可重现的结果。该设备还具有先进的安全联锁和诊断功能,以确保可靠和安全的操作。ADIXEN Classic 500能够将各种薄膜材料(包括金属、氧化物、氮化物和合金)沉积到各种形状和大小的基板上。该系统广泛应用于半导体、光学、电子、太阳能等行业,用于涂层、薄膜晶体管、传感器、光学滤波器等应用。最后,ALCATEL Classic 500是一个最先进的溅射装置,为薄膜沉积提供先进的能力。其模块化设计、高性能磁控管电源、精确电源以及用户友好的控制单元,使其成为研究和生产环境的通用可靠工具。无论您希望开发新材料、提高产品性能或扩大制造过程,PFEIFFER Classic 500都能提供满足溅射需求的技术和灵活性。
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