二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #9192498 待售

ID: 9192498
Pump (3) Sputter up cathodes size: 8" Load lock Process gas supply: MFC, (3) lines HUTTINGER RF Generator: 13.5 6 MHz, 1.2 kW Impedance matching network.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600是一种强大的溅射设备,用于将薄膜材料沉积到基板上。这一通用系统具有很高的适应性,允许用户为任何给定的应用定制它,无论是在塑料模型上创建金属涂层还是生产集成电路。该单元由三目标溅射室组成,由大功率直流磁控管源供电。源通过屏蔽电缆连接到腔室,然后将要溅射涂层的样品安装到腔室内的溅射支架上。集成真空机将腔室压力保持在薄膜沉积的最佳水平。该工具的主要部件是坚固、高精度的粒子束源。它产生高度均匀和可控的离子束,可以根据任何所需的沉积速率或组成自由调节。该源具有极好的精度范围,并包含若干促进可靠和精确操作的功能。这使得它适用于各种各样的材料沉积任务。ADIXEN SCM 600还有一个气体引入资产,使用户能够在沉积过程中施用反应性气体形成粘合剂或硬质涂层。它包括全面的可编程配方,允许用户轻松重复任何溅射过程。该型号可处理最大400mm x 250 mm的样品,并提供几种薄膜的选择,包括铬、钨、铝、铜和金。除了溅射功能外,ALCATEL SCM 600还提供了几种选项供用户监控和审查设备性能。它包括一个图形用户界面(GUI),显示任何给定时间点的沉积速率以及室内温度和压力。当任何参数超出其指定范围时,GUI还会显示系统诊断和警报以发出警报。总之,SCM 600是一种可靠、通用的溅射装置,适用于各种薄膜沉积应用。其粒束源能够提供一致的均匀薄膜,而其GUI允许用户轻松监控和控制沉积过程。
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