二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482 待售
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ID: 9379482
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1200L是一种高精度溅射设备，设计用于广泛的材料沉积应用。该系统采用多源多磁控管配置，每个磁控管可独立调节，以实现最优工艺控制。AKT 1200L单元是围绕一个多阶段顺序源/目标表机制构建的，它允许目标相对于源进行精确、可重复的定位。这使得精确溅射来自多个来源的均匀层成为可能。源/目标表也可配置为角度溅射,允许沉积复杂的形状和结构。AMAT 1200L机配备了静态、EMI屏蔽控制机柜和可编程逻辑控制器（PLC）。PLC用于控制刀具过程,包括源的循环以及每个源的电源级别。EMI屏蔽有助于精确测量和不断监测工艺参数，如溅射压力、氙流、射频功率等等。1200L还具有先进的低振动磁悬浮技术，可最大限度地减少振动并改善均匀沉积。这是通过由小永磁体阵列产生的诱导力悬浮源/目标表来实现的。当配合资产的最先进的自动化，APPLIED MATERIALS 1200L可以用来沉积铝、铜、铬、钨、钛和其他合金，以及这些材料的氧化物。该模型有多个版本,以满足特定的应用程序要求。总体而言，AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L是高精度溅射应用的绝佳设备。它的多源、多磁控管系统允许均匀的层沉积，其先进的自动化确保了一致的过程控制。其磁悬浮技术最大限度地减小了振动，其低EMI确保了精确的测量。简而言之，AKT 1200L是各种材料沉积的理想选择。
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