二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600/2 PREHT #9281105 待售

ID: 9281105
Sputtering system.
AMAT Aton 1600/2 PREHT是一种溅射设备,用于将材料物理气相沉积到基板上。该系统设计效率最高,具有多种特点,有助于其准确沉积物料的能力。它几乎能够沉积任何材料,包括金属和绝缘体,使其成为许多应用的通用工具。Aton 1600/2 PREHT采用了紧凑的设计,可以更有效地利用生产现场的空间。该单元包含两个目标,可用于将不同材料沉积到基板上,用于各种薄膜堆栈配置。目标的陶瓷进给通销允许安全接触和最小的维护和泄漏。它还包含一台高级RF Auto-Tune机器。该工具能够自动将产生的频率调整到不同的基板上,提供更好的温度和速率控制。Aton 1600/2 PREHT包含许多功能,可提高流程效率、准确性和可重复性。精密真空资产可确保均匀沉积,消除任何污染风险.它使用了种类繁多的百叶窗、传感器、控制器和仪表,以确保模型的每个腔室都有一致的压力环境。它还配备了闭环压力控制设备,可以自动监控和控制溅射过程中的压力,以及气动换样机构。Aton 1600/2 PREHT还具有强大的自动化和控制系统。它利用多层软件和硬件来改进单元管理并降低成本。它具有图形用户界面(GUI),允许用户自定义溅射过程。机器还结合了动态过程监控和故障诊断,可以检测溅射过程中的任何故障或偏差。总体而言,APPLIED MATERIALS Aton 1600/2 PREHT是一种功能强大的溅射工具,可提供最大的效率和准确性。其强大的自动化和控制资产确保了可靠和可重复的生产环境。其紧凑的设计节省了生产地板上的空间,其通用的目标模型允许几乎任何材料的沉积。该设备具有许多特点,使其成为许多应用的有用工具,包括薄膜沉积和半导体生产。
还没有评论