二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #9027345 待售
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ID: 9027345
Sputtering system
(5) Chambers: (1) Load + (3) Process + (1) Unload
With pumps and aux equipment
(4) Rotary targets for (2) chambers
Flat targets
Application: Metal and ITO film deposition
Carrier rate time: 60 Sec
Maximum substrate size: 1800 x 920 mm
45 Pieces (156 x 156 mm size) per carrier
J and R Loader / Unloader.
AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600是一种高性能的旋转溅射设备，用于真空沉积卑鄙的薄膜。它是一种单室、单臂系统，适用于平板显示器、数据存储、光伏元件和光学应用等多种应用。AMAT ATON 1600是一个先进的单元，允许在大面积的高度均匀性。它也是高效和多用途的，允许广泛的金属和化合物的溅射。APPLIED MATERIALS ATON 1600具有集成的装卸过程，其中包括晶圆装载机、溅射台、腔室和手套箱。机器强大的溅射能力使其能够在大面积上沉积具有高均匀性的材料。另外，ATON 1600可以同时溅射多种不同的材料。这允许快速原型制作和生产高质量的薄膜。AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600还拥有真空加载工具，其设计目的是确保腔室始终保持在真空状态。这有助于减少制作优质胶片所需的时间。此外,AMAT ATON 1600还使用专用的运动控制器和定位器来确保所有组件的定位准确高效。这减少了生产均匀薄膜所需的时间和工作量。APPLIED MATERIALS ATON 1600设计易于使用,具有直观的触摸屏界面。这使得设置和操作更加容易，确保避免代价高昂的错误。此外,ATON 1600还具有强大的电机和控制器,可用于精确的溅射控制。这将导致更安全、更可靠的操作。AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600是一种强大可靠的资产，非常适合工业使用。其性能突出，均匀沉积率高。该型号的大面积覆盖范围和多种材料的沉积能力使其成为一种用途广泛且高效的设备。其易用性和可靠的性能使其成为业界最受青睐的溅射系统之一。
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