二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9080130 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种高性能蚀刻反应器，适用于要求最苛刻的蚀刻应用。该反应堆具有广泛的能力，包括耗尽和富集蚀刻、离子辅助蚀刻、物理气相沉积（PVD）和反应性离子蚀刻（RIE）工艺。拥有专利的VHF磁控管源，以及能够达到5 x 1012 cm-3的等离子体密度，这座反应堆拥有保证顶尖成绩所需的动力。AMAT P5000 Mark II提供出色的基板温度控制，温度范围为-25℃至75℃，±1℃耐受温度范围为300℃。它还具有高效的源移动器，可实现最佳的源放置，并在所有基板上均匀地进行出色的蚀刻。其磁控管设计优化了离子通量、离子能量、源功率的比值，以保证高蚀刻速率、低基板损伤、最佳均匀性。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II的模块化设计确保了灵活性和可升级性，允许用户无缝安装升级模块，例如可选的远程晶圆前真空系统。该系统允许处理多个晶片而不会中断,从而确保了高效的蚀刻过程。该设计还可以通过调整工艺参数来控制和避免寄生蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II配备高精度控制器，根据严格的工艺要求量身定制。该控制器采用专利自适应腔室技术，实现了更高的精度、更好的均匀性和更宽的工艺窗口。使用直观的触摸屏界面轻松配置设置。此外,控制器还可以与各种机床系统互连,以实现最终的控制和效率.最后，该反应堆经过设计，以提高安全性。它的耐用性和保护功能满足最高的安全要求,确保符合操作要求。在外部，P5000 Mark II具有低级别的安全盖、集成的安全标志和信号，以及非磁性不锈钢的腔室保护层。简而言之，APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种非常先进的蚀刻反应器，具有极致的蚀刻性能。它提供了无与伦比的精度、可靠性和安全性,以确保一致的高质量结果。