二手 ANATECH Hummer 10.2 #9221457 待售

ANATECH Hummer 10.2是一种先进的溅射设备，设计用于在基板上沉积薄薄的材料层。该系统能够生产金属、合金、氧化物和氮化物的均匀薄膜，具有较高的附着力和上升/下降时间。它还通过用户友好的触摸屏界面提供了极好的灵活性和控制,从而实现了简单的沉积参数优化。悍马10.2采用脉冲直流溅射工艺，确保薄膜生长受控，实际上消除了底物电荷。它的10 "x4"溅射区域允许多层的大面积沉积。腔室设计包括一个多区均匀单元，允许在基板上的任何位置均匀的薄膜沉积。该室还设有若干用于排空和等离子体控制过程的入口和出口阀，以及用于精确温度控制的基板加热器。该机配备了易于使用的手动和自动流量控制的气体阀阵列，允许用户在气体和真空操作之间切换。压力传感器允许用户监视腔室压力并快速识别工具故障。悍马10.2还配有多种屏蔽保护装置，包括隔热屏蔽，以保持基板免受溅射过程的保护，以及用于均匀性控制的磁性屏蔽。悍马10.2易于维护，并具备各种安全措施。这包括在发生故障、超压或低压时自动关闭模型的互锁资产。设备的紧凑、统一的设计，让现场安装和维护简单明了。总体而言，ANATECH悍马10.2是一个出色的溅射系统，广泛的材料研究应用。其可调基板加热、气流和压力控制为用户提供了对薄膜沉积的精确控制。其较大的溅射面积和均匀性意味着能够在多种基板上生产出优质薄膜。该单元以方便用户和易于维护的软件包提供精确控制。