二手 ANATECH Hummer VIII #9249717 待售

ANATECH Hummer VIII是一种溅射设备，设计用于将薄膜沉积到低温和高温基板上。它具有坚固、高度灵活的平台，能够沉积各种材料，包括氧化物、氮化物和金属。该系统还提供卓越的薄膜均匀性和可重复性，使其成为要求苛刻的应用程序的理想选择。悍马VIII包括一个高温基板室，能够达到高达800 °C的温度。这为用户提供了处理各种高温基板的能力，也使PECVD涂层得以使用。HuVII还提供了广泛的溅射目标，包括Si/SiO2和SiC/SiNx，以及介电和金属选项。该单元的一个特别有利的特点是可以选择配对或多目标配置,这样可以优化涂层工艺以生产具有特定特性的材料。ANATECH Hummer VIII包括广泛的工艺控制,可保持精确的沉积速率和厚度。这可以通过过程参数的组合来实现，包括气体流量、气体成分、压力、射频功率、溅射速率和温度。此外，HuVII还提供了对基板运动的自动控制，从而可以优化涂层参数。悍马VIII是创造高品质薄膜的理想机器，由于其坚固、高度灵活的平台和广泛的沉积特性。它非常适合多种应用，包括超导体、透明导体、电介质和磁光膜的沉积。此外,该工具可用于创建多层堆栈,从而允许创建特定的目标膜结构。所有这些特性使ANATECH Hummer VIII成为薄膜沉积的绝佳选择。