二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER IV-A #9004324 待售

ID: 9004324
Table top sputtering system 3" diameter cathode 4" diameter Pyrex chamber LEYBOLD D1.6A dual stage pump.
ANATECH/TECHNICS HUMMER IV-A是一种高品质的溅射设备,设计用于在研究和生产环境中将薄膜沉积在表面。它能够利用各种静电溅射过程,包括直流、射频和脉冲频率溅射,从多种材料中沉积薄膜。这种用途广泛、经济实惠的系统可以容纳大大小小的基板,包括金属、氧化物、玻璃、陶瓷和塑料。溅射装置装在一个小巧的、脚印友好的不锈钢外壳中,配有集成电源,便于运输。溅射室直径250毫米,高度400mm,适合广泛的基材尺寸。该腔室具有可变压力控制,最高可达8̃ Pa,可改善沉积过程中的薄膜均匀性。该机装有一套五个可旋转溅射目标,直径各13.5英寸,可同时从多种材料中沉积。该工具还配备了最大脉冲重复频率为1100 Hz的射频发生器,提供高达50 kHz的可编程射频溅射频率。其中包括一个可调气流和压力调节器,以确保稳定的等离子体气氛和最佳的薄膜沉积结果。另外还有一个闭环冷却和通风设备,用于更好的环境控制,一个热电偶控制的加热模型,用于均匀的基板温度控制,以及可定制的用户友好软件,以便于对各种溅射参数进行编程。ANATECH HUMMER IV-A因其业界领先的性能而受到认可,旨在使研究人员和生产工程师能够为其应用获得完美的电影效果。其多才多艺的设计和尖端的特点使其成为各种溅射任务的理想选择。
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