二手 ANATECH / TECHNICS Hummer V-A #159053 待售

ANATECH/TECHNICS悍马V-A溅射设备是用于薄膜物理气相沉积（PVD）的先进设备。它是一种先进的沉积技术，结合了磁控管溅射的高均匀性和电弧蒸发的柔韧性。溅射系统的功率高达40千瓦，因此适用于许多不同的应用。它由一个直流脉冲电源和一个PVD室组成。电源配有图形用户界面，允许用户设置和监视设备参数。PVD室有一个长方形或圆形的目标架，带有机械臂以保持目标。它是真空密封的，以便在高真空或低压条件下操作。该室还设有隔热基板支架和气体喷射机。ANATECH悍马V-A工具具有高度的重复性和重复性。采用直流溅射法沉积均匀性好、层层组成一致的薄膜。资产也高度自动化，可与金属、氧化物等多种材料配合使用。它有一个电子枪，是理想的EVA过程，因为它可以很容易地调整不同的材料。该模型还包括一个冷却设备，专门为促进目标和基板的冷却而设计。冷却系统由一组冷却目标、基板和腔室零件的冷却线圈组成。冷却装置有助于通过降低热应力来提高沉积膜的质量。TECHNICS悍马V-A机也可以与其他溅射设备并用，如集群工具。这些设备的组合有助于提高流程灵活性和缩短周期时间。此外，该工具还配备了防止大功率电源意外放电的电子互锁资产等安全功能。总体而言，ANATECHHummerV-A溅射模型是一种坚固可靠的物理气相沉积装置。它是一种用途广泛的设备，可以在广泛的应用中使用，并在均匀性和可重复性方面提供优异的性能。它的自动化性质使其易于使用，并配备了安全功能，以确保操作以安全的方式进行。