二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER VI-A #9032075 待售

ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-A是为薄膜沉积而设计的最先进的溅射设备，用于表面和材料的灭菌和涂层。它具有先进的高压直流磁控管溅射系统,具有良好的均匀性.ANATECH HUMMER VI-A凭借其通用的单元设计，非常适合一系列溅射技术，如物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）。溅射机利用旋转目标特性，允许使用黄金、铝和不锈钢等各种目标。通过查看窗口,目标在溅射过程中连续可见。使用高质量、可靠的夹具将目标有效、牢固地夹紧并锁定到位。该工具采用高端技术，以确保长期运行和严格的沉积均匀性在广泛的基板尺寸。TECHNICS HUMMER VI-A还提供数字定时、脉冲控制和自动关闭功能，允许用户精确控制沉积周期。资产还提供了许多不同的工艺参数，如目标到基板的距离、施加的功率、气流、压力和脉冲宽度。该模型具有广泛的安全协议,具有内置的过电流保护、电压限制和故障检测功能。溅射设备设计精度极高，包括一个内置的闭环控制系统，以优化沉积速率和均匀性。该装置具有先进的位置感测机，可精确计算基板与目标之间的距离，并将其保持在几微米以内。这有助于确保沉积速率的一致性。为了快速准确地沉积薄膜,HUMMER VI-A具有真空工具,可提供5.0 x 10-3 Torr的最大压力和能够达到5 x 10-9 Torr范围内的极限压力的真空抽水设备。该模型提供了广泛的工艺气体，并配备了综合温度感测设备，以提高制备过程的准确性。ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-A是为各种材料和底物的薄膜沉积而设计的多功能溅射系统。该工具具有高端控制单元、自动安全协议和可定制的沉积机,是满足专业技术人员和研究人员特殊需求的强大解决方桉。