二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER X #9307601 待售

ANATECH/TECHNICS HUMMER X是一种溅射设备，设计用于将薄膜沉积到硅片等平板材料等基板上。该系统利用独特的蒸发工艺在300°C至800°C的温度下沉积薄膜。该单元包括了一个双crucible设计，允许两种不同的材料同时装入腔室。它是一台全自动机器，内置人机界面（HMI），使用户能够控制沉积参数，如压力、温度、溅射功率等设置。用户还可以为特定应用程序编程自定义配方。溅射机具有超高真空高温操作的真空室。这可以在不使用冷冻泵的情况下达到10-6 torr的底压。腔室设计还具有高空间分辨率和11英寸源到基板的距离，从而能够精确控制薄膜的均匀性和厚度。由于采用了双熔炉设计，该工具允许同时沉积两种不同的材料，使用户能够创建组成和厚度各异的多层堆栈。ANATECH HUMMER X还包括一些安全功能,例如互锁安全开关和压力开关,以改进安全预防措施。资产还配备了ULPA滤波器，确保99.97%的大于0.3微米的粒子被滤掉。此外，该模型能够保持温度均匀度± 1°C，确保整个基板表面均匀沉积。总体而言，TECHNICS HUMMER X是一种功能强大的溅射设备，具有多种特性，设计用于将高质量薄膜沉积到各种基板上。它的双柚子设计允许同时沉积多种材料，为用户的涂层要求提供更大的灵活性。该系统还包括几个安全功能，如互锁安全开关和压力开关，确保其操作员的安全环境。HUMMER X具有高精度的温度控制和高分辨率的沉积控制，是薄膜应用的理想装置。