二手 APPLIED VISION ARx10 #9358080 待售

APPLIED VISION ARx10是专门为研发目的而设计的溅射设备。它具有单电源和双电源的组合,可用于多功能溅射应用。系统的配置旨在使各种基板的高效加工，如玻璃、金属和半导体材料。ARx10的最大射频功率为10kW,距离范围为90mm-200 mm,工作包络为500 mm （x）-325mm （y）-150 mm （z）,以容纳不同尺寸的基板。扭矩功率部分使用三个步进电机来控制theta和phi，以精确控制溅射角度。它有一个高真空室，周围有两个升降泵、一个涡轮泵和一个机械泵。一个独立的差动泵送装置允许溅射沉积在不同压力范围的基板上，以适应不同的溅射应用条件。自动基板处理机为用户提供了对溅射过程的全面控制。高级控制功能允许用户在溅射过程中监视和修改气体流量、入射角和光束功率等参数。腔室的温度通过主动温度调节工具保持在恒定水平。此外，资产还配备了机动机械臂，以方便样品转移。APPLICED VISION ARx10利用了一系列溅射技术，包括失衡溅射、遮罩溅射、接触溅射和共溅射，使各种具有优异粘附性能的薄膜能够高效、精确地沉积。该型号还配备了磁性介质交换设备，可方便快捷地交换介质和基板。该系统体积小巧，设计灵活，非常适合在实验室或生产环境中使用。凭借直观的用户界面、全面的控制功能和高效的媒体处理单元,ARx10为溅射应用程序提供了全面的解决方桉。