二手 BALZERS 450 #170848 待售
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ID: 170848
晶圆大小: 3"-4"
Sputtering system, 3"-4"
Process: large targets (~9"x5") in a sideways-sputter configuration
Targets sputter inward onto a rotating drum.
Pallets: 3" and 4" wafers.
Drum: Raises vertically out of the top of the chamber
Hydraulic lift: Failure, but using an external hoist to open the chamber
(3) Target slots: Aluminum, Tungsten, Silicon,
Fourth slot is currently set up to perform an RF etch of the substrates and drum
System has never seen any gold or photoresist inside the chamber
Process gas: Argon
Vent gas: Nitrogen
Cryo pump: base pressure of ~5e-7 torr. (~8 hours to pump out)
(2) Power supplies
RGA: 1-100 AMU
Software
PC: Windows 98
Currently installed in a fab.
BALZERS 450是由全球领先的光学元件和系统制造商Leybold Optics制造的溅射设备。该系统设计用于各种工业、科学和研究应用，包括在受腐蚀、磨损和其他环境因素影响的表面上生产高导电涂层。450由几个部件组成，包括一个溅射室、一个泵站和一个沉积单元。溅射室容积四百五十升，由不锈钢材料与钼和铂涂层表面构成。腔室的墙壁衬有可移动的反射器和真空密封的固定框架。这提供了均匀的溅射和高度的可重复性和良好的工艺优化。该腔室还包括一个旋转目标和一个可调节的升力高度，可用于调整沉积参数而不更换目标。泵站包括机油密封旋转叶片泵、机械助推器和高真空泵。这确保了极好的高性能，每小时泵送能力高达96立方米，正常运行压力高达1毫托。另一方面，沉积机的设计目的是将目标材料以受控速率溅射到基板上。这是通过使用准直器和目标快门来聚焦溅射离子束，以及气流工具来确保所沉积材料的完美化学计量来实现的。BALZERS 450溅射资产提供了从高密度光学到细粒纹理表面的广泛沉积过程。它还提供了一个具有可选实时监控功能的自动化过程控制模型,从而实现了一致的产品质量和较低的过程成本。此外,其工程组件提供可靠的性能,从而提高过程的重复性和盈利能力。450是一种安全可靠的设备，旨在满足苛刻的工业、科研应用要求。
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