二手 BALZERS 450 #9241801 待售
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ID: 9241801
Co-sputtering system
(3) DC Power supplies
RF Supply
Back sputter
Water cooling / Heat manifold
Cryo / Compressor / Mechanical pump.
BALZERS 450是一种高科技溅射设备,用于涂覆各种不同的表面,并具有纤薄、均匀的层。该系统由于其紧凑的尺寸和普遍性,为材料研究人员和工程师提供了广泛的可能性。450以中型套件提供世界级性能。这个溅射单元采用了四极磁控管集束源机制,允许在同一腔室内使用多达四个不同的目标。这使得它非常适合沉积具有高均匀性的多组分层。BALZERS 450提供快速释放目标夹具和快速安装真空密封,使用户能够轻松交换目标并维护真空室。它通常在生产环境中用于快速、可靠的层沉积。450还具有在直流和脉冲功率下以高达3 kW的速度运行的高功率单元。这样就可以实现异常统一、高度附着和独特的层特性。该装置的绝对压力平衡已被最小化,使其得以实现真空离子沉积(VID)工艺。这一过程确保即使在降低的基板温度下也能沉积高质量的厚层。BALZERS 450采用多气源设计,每个组件可通过独立的流量控制轻松调节。这使得在创建复杂的矿床时可以获得很高的灵活性。该装置还能够同时处理两种不同类型的基板,这使得涂覆具有模具、晶体管和其他组件的复杂表面具有极高的精度。最后,450配备了先进的PLC控制自动化和连接的过程控制系统如IPM、SCADA或Fieldbus。这样就可以对特定的工艺配方进行编程,并方便地监控工艺状态。总之,BALZERS 450是一种功能强大、精密的溅射机。它是一种小巧、高效的装置,能够在各种表面快速、可重复地沉积各种薄薄、均匀的层。对于需要精确、高质量层沉积的材料研究人员和工程师来说,这种装置是理想的选择。
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