二手 BALZERS 810 #293650477 待售

BALZERS 810是一种溅射设备，利用射频等离子体溅射通过热蒸发或溅射产生金属、合金和化合物薄膜。该系统由多种元件组成，包括离子源、晶片级、沉积室、射频电源、基板支架、疏散泵和工艺控制器。离子源用来产生溅射目标材料所需的等离子体。离子源通常是静电、热电子或高密度等离子体源，这取决于应用。该单元的晶片级用于在沉积过程中保持基板。这一阶段通常由真空密封晶片架组成，可编程为在三个维度上移动基板，以提高沉积均匀性。沉积室是发生溅射过程的地方。该腔室通常由铝和不锈钢构成，具有真空密封，并配有视口，以便对沉积过程进行目视检查。该室容纳了离子源和基板级，还配备了排气机以排出工艺气体。射频电源用于提供溅射所需的电能。这些电源通常可提供高达1000瓦的功率级别,并具有可变脉冲频率,从而可为每个应用程序优化过程窗口。工具的基板支架用于在溅射过程中固定基板，通常由不锈钢制成。这个持有者可以被编程定位，以便提高沉积均匀性。资产的排气泵用于在溅射过程中保持低压，通常由涡轮或涡旋泵组成。过程控制器用于控制过程参数，包括温度、压力、功率和沉积速率。该控制器可以编程，以提供沉积过程的精确控制，从而提高沉积均匀性。总体而言，810是一种高度先进的溅射模型，可用于为各种应用沉积广泛的材料。这种设备非常适合研究应用，对于生产金属和合金的薄膜特别有用。对于优质薄膜均匀沉积，可以精确控制溅射过程。