二手 BALZERS BAS 450 PM #293650881 待售
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ID: 293650881
Co-sputtering systems
(2) Power supply boxes
Water supply
Pumps
Non-functional:
Safety circuit
Single switch.
BALZERS BAS 450 PM是一种工业级溅射设备，用于薄膜结构的制造。它是将材料涂覆到基板表面的强大工具，允许沉积用于创建各种电子、光学和光电器件的均匀且可重复的纳米级层。BAS 450 PM设计紧凑，通风良好，适合各种环境使用。腔室有三个溅射源，允许简单高效的沉积过程。该系统还有一个基板加热器，可以达到1000 °C的温度，从而可以在溅射过程中精确控制基板温度。该装置具有强大的300 W直流磁控管溅射炮，能够实现超快溅射速率，使其能够沉积一系列材料。该枪可配置为直接或间接溅射，视工艺要求而定。溅射枪能够产生高压等离子体环境，高效方便材料沉积。BALZERS BAS 450 PM还有一个可选的涡轮泵，在机器灵敏度和基板温度控制方面有很大的改进。涡轮泵还允许对蒸发颗粒进行更高等级的过滤以及降低腔室压力。这使得该工具非常适合纳米级结构的超细沉积。此外，该资产还配备了一个排水管，可以方便地清除所用的溅射材料。此功能可防止颗粒在基板上或腔室内堆积,从而提高安全性。BAS 450 PM还配备了防止杂散粒子逃离真空室的屏蔽装置。总体而言，BALZERS BAS 450 PM是一个非常好的溅射模型，用于创建具有均匀和可重复沉积的复杂薄膜结构。它拥有强大的溅射枪、可调基板加热器和高效涡轮泵，使其适合广泛的工艺。设备还有一个排水管和防护罩，以防止任何污染，确保安全和高效的操作。
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