二手 BALZERS BAS 450 #9235090 待售
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ID: 9235090
RF sputtering system
(3) DC Magnetron stations
CTI 8" cry-o air cooled compressor
Water manifold
RF back sputter
Substrate heat
Included manuals and drawings.
BALZERS BAS 450溅射设备是一款功能强大、用途广泛的工具,用于电子应用、半导体制造以及相关研发。该系统由硬件和软件组成,使用户能够将各种材料精确地沉积到基板上,而不会因沉积过程而造成热或光学损坏。该单元包括一个柔性源室,在该室中,被沉积材料的类型及其沉积速率受到仔细控制。该室配有一种惰性气体,以保护材料不被氧化,并配有一个自动快门,以确保材料不被沉积时的安全密封。基板保持在真空室内,真空室内还装有惰性气体,以保护基板在溅射过程中不被氧化。腔室连接到一个磁控管阴极组和一个目标支架,它们一起产生一个电弧,允许溅射的材料被发射到基板上。通过改变电弧的电压和电流,用户能够控制沉积速率以及材料在基板上的大小、形状和分布。BAS 450采用精密工程和测量技术,以确保沉积材料的准确性和可重复性。机器内的转子被设计成完美的平面,使沉积的材料在基板表面具有均匀的分布。该工具还具有先进的自动化制图技术,允许用户规划和优化沉积过程。这有助于减少试错实验的时间,并在整个基板上保持一致的质量。BALZERS BAS 450配备了安全和控制系统,以确保资产保持最佳状态,并保护工作人员免受伤害。该模型包括激光光束保护装置、紧急关闭和通风系统,以及其他一些安全系统。报警设备配有可听报警,以及报警发生时的铃声、报警记录、授权工作人员的联系方式等。BAS 450溅射系统能够以可靠、安全和经济高效的方式精确沉积材料。其先进的自动化技术减少了材料沉积所需的反复试验,并确保了精确和一致的质量。它是现代半导体制造业不可或缺的组成部分,其先进的特点使其成为开发广泛电子应用的宝贵工具。
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