二手 BALZERS Circulus M 95/12 #9137154 待售

BALZERS Circulus M 95/12是一种先进但易于操作的溅射设备，用于沉积各种应用的薄膜。该系统具有高度精确的无意义电磁发生器，能够在高达95 keV的能量下溅射，磁场可调至12 Tesla，使用户能够准确确定其过程所需的沉积参数。发电机连接到一个可旋转的阴极，该阴极可以被转动以改善基板上溅射材料的均匀化。选择性溅射可以通过在阴极周围安装额外的电极来进一步增强。该装置专为高产量而设计，最大基板尺寸为200 x 200毫米，圆形孔径直径可达12.5厘米。它装有具有独立气压控制功能的高容量气流控制器（GFC）机，可实现非常精确的溅射过程控制。该工具还提供高精度电压扫描功能,并通过其可选的自动沉积套件提供可变温度和功率调制,进一步提高基板的均匀性。BALZERS Circulus M 95/12适用于广泛的溅射应用，包括磁记录介质、薄膜晶体管、电容器、高端光学、MEMS器件。此资产具有高度可靠和坚固的特点,并有24个月的零件和劳动保修作为后盾,并经认证符合CE和UL标准。BALZERS Circulus M 95/12具有用户友好的界面、数字控制中心和自动事件记录功能,是研究、原型设计和生产溅射应用的理想机器。