二手 BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #9387714 待售

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ID: 9387714
晶圆大小: 8"
优质的: 2015
PVD System, 8" LED Wireless Thin film head 2015 vintage.
BALZERS/EVATEC Clusterline 200是为PVD(物理气相沉积)、阴极电弧沉积、反应性溅射和脉冲激光沉积等工艺而设计的溅射设备。该系统具有可配置的体系结构,可轻松集成新流程或升级到现有流程。该单元可配置多达11个独立的溅射模块,每个模块可配置为溅射不同的涂层或基板,最大沉积速率高达5,000埃/分钟。机器还设有两个额外的测试室,可用于提供质量保证测量,如评估样品的表面粗糙度或硬度。每个溅射模块都配有一个强大的数字射频(Radio-Frequency)电源,可以让用户以极高的精度精确控制涂层参数。此外,该工具还配备了独立的温度和压力控制系统,可确保各种基板和涂层的沉积结果一致。此外,该资产还配备了全面的安全模型,确保其符合所有行业标准。最后,EVATEC Clusterline 200具有很高的可靠性和易于维护,从而提高了正常运行时间和更持久的性能。总体而言,BALZERS Clusterline 200是一种可靠高效的溅射设备,旨在提供一致的涂层和精确的测量。
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