二手 BALZERS / EVATEC MSP 1000 #9164752 待售

BALZERS/EVATEC MSP 1000溅射设备是为各种材料上的薄膜涂层而设计的高端系统。它是一个多室单元，允许在溅射沉积中使用多个沉积源。这台机器是首创的包括二次电子发射监测器，确保最佳性能。该工具采用自动弹出机制，便于基板传输。资产有四个可互换的溅射源，每个溅射源能够按厚度、组成或多层沉积进行涂层。其来源为氮气/氙气组合，溅射速度高达24毫巴。EVATEC MSP 1000有一个过程反应室，其载荷锁可同时容纳多达六种底物。该型号可容纳多达500 x 500 mm的基板，也有能力在更大的基板上涂上额外的附件组件。底物温度可由25°C调节至800°C。利用先进的微处理器控制单元对沉积过程进行监测和控制。此单元与PC连接,可精确控制沉积参数。该设备是为确保均匀沉积和减少污染而建造的，包括波纹管密封闸阀和真空泄漏检测器。该系统配有一个可选的自动气体输送装置，对气体溷合物进行精确、方便的控制。气体输送机用气体管线连接到反应室。这条线也与溅射源相连，避免了手动气体交换的需要。溅射源具有步进电机和编码器，用于精确的位置控制。BALZERS MSP 1000是一种用于薄膜沉积的高度先进的溅射工具。凭借其反应性溅射源、沉积控制特征和安全措施，该资产可处理各类沉积过程。其先进的控制单元、气体输送模型等特点，确保了准确高效的沉积，污染最小。