二手 BALZERS HVS-107 #9254561 待售

BALZERS HVS-107是列支敦士登BALZERS公司开发的一种高真空溅射设备，用于将薄膜涂层沉积在各种工业应用中的基板上。该系统采用超高真空室，结合几个独立的溅射源，提供了一种强大而通用的涂层应用手段。HVS-107室由一个不锈钢真空容器组成，该容器的结构是用于向下疏散至0.1毫巴的底压。室内再用电离气体预制，以促进基板上均匀溅射。静电安全屏蔽为高能等离子体放电提供额外的保护。该腔室设有多个端口，可连接到一系列用于抓握基板的专用工具和夹具，以及一系列源，包括磁控管、等离子体和ECR源。BALZERS HVS-107的溅射源是独立控制的，允许同时或交替沉积多种材料。每一个源都有一个定制设计的石英圆顶，内衬精选的电极材料，并背靠永磁以产生离子等离子体。这种等离子体保持在高温，然后指向基质。通过使离子密度和电压保持在足够的水平，涂层沉积过程可以高度重复和高效。HVS-107单元能够实现较高的沉积速率,并且可以沉积各种材料-从金、铝、钛等金属到氮化硅等电介质。该机还可以沉积复合材料涂层，该涂层由多个组件组成，以提高性能。当与可选的串联监控传感器结合使用时，可以用精确的设置对工具进行编程，以确保可重复性和与每个涂层周期的一致性。BALZERS HVS-107是一种强大而高效的溅射资产，能够沉积具有出色均匀性和可重复性的高性能涂层。该模型旨在在广泛的工业和技术应用中提供可靠和精确的沉积，如医疗植入物、半导体元件和光学元件的生产。