二手 BALZERS LLS 801 #9171464 待售

BALZERS LLS 801溅射设备是一种先进的真空处理工具，用于在各种基板上制造防护涂层。它的设计目的是将目标材料的薄层沉积在基板的表面上，以便产生一种具有光学吸引力、化学惰性和机械耐用的保护涂层。LLS 801溅射系统建立在BALZERS着名的LLS系列系统的基础上,它提供了更好的均匀性和沉积率,同时保持了卓越的工艺重复性。BALZERS LLS 801溅射装置由几个重要的子系统组成，其中包括： *射频电源：此子系统提供了一种产生溅射所需射频功率的方法。*目标磁体组件： 此子系统包括两个电磁体和控制电子设备,用于在目标和基板之间的间隙区域保持稳定的吸引力。*目标组件： 目标组件容纳目标材料,并具有连接的射频电极。*基板组件： 基板组件包含基板支架和接地护罩。*真空机： 该子系统由扩散泵、粗加工阀和涡轮泵组成。LLS 801溅射工具的工作原理是基于物理溅射过程。RF电源从外部电源产生RF电源,然后直接耦合到目标组件。这会在目标和基板之间产生吸引力，使目标材料烧蚀后沉积到基板上。由于射频电源通常在13.56 MHz附近运行，目标几乎一直处于蒸气等离子体状态，这有助于进一步提高均匀性和沉积速率，由BALZERS LLS 801溅射资产提供。再者，目标磁体组件内的两个电磁体被用来帮助在目标和基板之间保持稳定的吸引力，这有助于确保每次都有均匀的涂层。磁铁还可以减少目标中耗散的功率,从而使LLS 801溅射模型特别节能。BALZERS LLS 801溅射设备用途广泛,能够溅射多种材料。该系统广泛应用于医疗器械制造、电子元件制造、光学生产、航空涂料等行业。总体而言,LLS 801溅射装置是在各种基板上创建薄保护涂层的特殊工具。它是一种可靠、节能的溅射机，每次均能快速高效地沉积均匀薄膜。它具有两个磁体保持稳定的吸引力以确保最佳沉积均匀性和速率的额外优势。