二手 BALZERS LLS 801 #9199165 待售

BALZERS LLS 801溅射设备是一种多功能工具，旨在提供高效、精确的高溅射速率薄膜沉积。该系统配备了三袋式炮塔，允许以不同的溅射速率一次最多沉积三种材料，从而导致均匀的薄膜沉积。其高容量的锁载单元允许快速安装和拆卸基板，提供更高的效率。该机由一个大的工作室进一步增强，允许最多四个直径最大180毫米的基板被处理。LLS 801采用模块化设计,允许进行多种配置以满足特定需求。利用三级涡轮真空泵，达到7x10-8 mbar的底压。该工具配有85 MHz射频电源,可提供高达800W的超高功率级别,以获得最佳的薄膜质量和溅射速率。可选的脉冲电源也可用于更高的沉积速率。BALZERS LLS 801采用自动微波基板加热模块，可实现高达400°C的精确均匀加热。利用湍流发生器进一步加强了这一进程，该发生器有助于防止结核，甚至确保目标的使用。由于采用了环扫磁性限制和开放通量例外,从而减少了粒子排斥并提高了质量和薄膜覆盖的线性度,因此可以改变溅射模式。LLS 801是一种多用途、精密的溅射资产，能够产生高效、精确的具有所需性能的薄膜沉积。它的模块化设计、多种配置和增强的功能使它能够满足各种应用程序的需求。BALZERS LLS 801以其自动微波基板加热模块、高效的锁载模型和超高功率水平，是薄膜沉积的理想解决方桉。