二手 BALZERS LLS 801 #9240378 待售

BALZERS LLS 801
製造商
BALZERS
模型
LLS 801
ID: 9240378
晶圆大小: 6"
Metal sputtering system, 6" Chemicals: Cr, TiW, NiV, Au, SQ On board water pump.
BALZERS LLS 801是为生产广泛的薄膜和涂层应用而设计的溅射设备。利用阴极电弧沉积(CAD)技术,提供高沉积速率,具有良好的材料转移、高膜均匀性和对膜参数的高度精确控制。该系统具有最先进的组件和直观的软件,使其成为研究和生产活动的可靠、可靠和高效的选择。LLS 801是一种简单、紧凑的设计,可以安装在密闭空间中。它集成了真空组件,包括一个涡轮分子泵,可以保持清洁的环境和高水平的真空。该装置还包括一个带有阀门和管道的气体箱,能够将加工气体引入真空室中。另外,可以通过加热壁来调节腔室的温度。该机器采用基于PC的高级用户界面,具有直观的编程、可视化和数据采集工具。这可用于精确控制和监控影响溅射过程的多种参数,如功率水平、目标成分、基板温度、源气体流量等。这有助于确保溅射膜内的均匀性和提高可重复性。该工具非常适合为各种材料制备薄膜,包括半导体、电介质、金属、绝缘体和聚合物。薄膜沉积厚度、组成和结构可以微调,使其成为从光电子和显示装置到储能等微电子装置等多种工业应用的绝佳选择。BALZERS LLS 801资产为用户提供了创建高度定制的薄膜的灵活性。此外,该模型还提供了对所有沉积参数的精确控制和对整个晶片的高度均匀性。该设备易于使用,具有用户友好的软件和直观的图形用户界面(GUI)。这使得它非常适合研究和生产环境。
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