二手 BALZERS LLS 802 #9313125 待售

BALZERS LLS 802是一种最先进的溅射设备,旨在为各种溅射应用提供先进、高效的沉积工艺。该装置能够使用多达8种不同的溅射目标，允许最多8种不同材料的多层沉积。由于其先进的电源技术，它还具有很高的工艺可靠性，确保了稳定、高性能的溅射工艺。LLS 802的溅射速率可以从每小时0.1微米调整到每小时0.2微米，具有出色的均匀性和沉积率稳定性，同时大多数应用的均匀性>98%。这使得从薄磁膜到大面积显示器等广泛应用的溅射过程效率最大化。该系统具有独特的自动化功能，具有可用于多个过程的全自动负载锁，以及用于精确控制溅射过程端点的可选计算机控制的自动端点检测。它还具有远程控制功能,允许在过程进行过程中进行电视监控。该单元是热稳定的，保证了其表面温度的均匀性，从而给出了沉积过程的均匀性。BALZERS还具有惰性气体供应，可用于在较低温度下的溅射蚀刻和溅射沉积。此外，它的载荷锁具有20°C至1000°C的温度范围，允许精确控制溅射条件和过程稳定性。此外，该机具有强大的软件，允许对溅射参数进行精确的操作员控制，增强原位过程监控，以及多个过程和终点控制的自动化。其内置的Vacuum Inverter Technology允许快速停机时间，以及保持和控制溅射处理所需的高真空的能力。总体而言,BALZERS LLS 802是一种功能强大且可靠的设备,具有广泛的功能集,非常适合多种类型的溅射应用。它提供了高度的过程控制和准确性，以及先进的自动化能力和强大的软件，从而提高了沉积过程的效率并确保了可靠的溅射过程。