二手 BALZERS SCD 040 #48452 待售

BALZERS SCD 040是为精密薄膜沉积而设计的高性能溅射设备。平台设有五个製程室、两个主沉积室、两个底部加热与冷却系统（热系统）、一个露天冷却室、以及一个高解析度的平面基板台。这些腔室可用于物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）以及金属和介电膜沉积的热蒸发技术。该系统还提供了激光烧蚀和低温等离子体增强沉积的能力。主要沉积室的特点是磁控管放置在可旋转的支撑中。这使得溅射率大大提高，而且能够立即将目标材料从一个腔室转移到另一个腔室，而不会受到污染。底部加热和冷却系统采用电阻式热源，具有精确的温度控制，以实现精确的加热和冷却速率。该装置能够处理大而厚的基板，非常适合达到± 0.2°C的均匀温度均匀性。内部冷却机能轻松维持室内的理想温度范围。SCD 040的露天冷却室装有高灵敏度热电偶，用于检测室内突然的温度变化。该工具还具有高分辨率的平面基板表,其设计目的是确保两个空间方向的平行度均在1.5 μ m以内±。该表与一种专有的无工具基板夹紧技术相结合，这种技术大大减少了在沉积过程开始之前附着基板所需的时间。该资产还为涂层材料提供多种配置选项，例如钛合金、氧化铝和氮化钛。它还配备了一种获得专利的立体成像质谱仪，能够进行串联、实时、多点等离子体密度分析，以控制沉积过程中的质量和性能。最后,BALZERS SCD 040设计为可远程控制和现场维修,允许从任何远程位置进行直接通信和配置。这使得它非常适合研发以及工业和分析应用。