二手 BALZERS ST 801 #9200579 待售
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BALZERS ST 801是由知名薄膜沉积设备制造商BALZERS设计制造的脉冲直流溅射设备。ST 801系统旨在为各种应用高效地溅射薄膜。它提供了高水平的控制和精确度，能够将各种材料的多达8个目标溅射到基板上以及两个电子束枪上。它还允许简单的过程优化，具有实时的图形用户界面来监控过程参数。BALZERS ST 801具有非常大的真空室，能够溅射多达8个目标。腔室压力可维持在1至1E-5 hPa之间。该单元还包括一个涡轮分子泵用于快速泵降和精确控制腔室压力。这台机器能够产生各种无功和无功溅射技术，包括无功直流溅射，以及高密度等离子体增强直流（HiPED）和磁控管溅射。ST 801还具有高度先进、用户友好的实时图形用户界面（GUI）。此用户友好界面可轻松访问主要参数,例如目标厚度、电流、功率和频率设置以及其他操作参数。此外，GUI还包括专用的慢跑轮来微调选定的操作参数，可以帮助快速、精确地优化溅射过程。BALZERS ST 801还具有两个电子束喷枪，提供非常薄层的高分辨率、高速溅射。这些枪也可用于高分辨率蚀刻应用。这些枪能够在金属、硅酮和半导体等各种基板上产生精细的图桉。ST 801溅射工具提供可靠的性能和操作简洁性，使其适用于工业和研究应用。该资产的设计易于使用,可实现快速、精确和经济高效的溅射过程优化。该模型非常适合那些想要精确控制其薄膜沉积过程并需要高质量薄膜结果的人。
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