二手 BALZERS / UNAXIS LLS 900 #9006623 待售

BALZERS/UNAXIS LLS 900溅射设备是一种工业级真空溅射机，设计用于半导体和其他先进的纳米技术应用。UNAXIS LLS 900是一个模块化、多室、多位置溅射系统，配有四个4目标溅射源。四个分庭各可独立运作。该单元适用于各种沉积过程，包括顺序溅射、同时溅射和同时溷合过程。BALZERS LLS 900主腔室采用高质量的不锈钢和高真空进给通路，保证了清洁、一致、持久的运行。其内部尺寸为18 "x 18" x 24"（460mm x 460mm x 610mm）。腔室容积约为12立方英尺（340升），真空室内的底压为10-7托尔（1.3e-6 Pa）。主室的大工作区域增加了最多四个额外的外室，每个室包含一个4目标溅射源。LLS 900配备了最新的溅射机技术。它集成了闭环控制系统，具有高可靠性的电源工具，并利用精密的计量技术进行精确的过程控制。4目标溅射源中的每一个都由四个磁控管或二极管磁控管溅射源组成，排列在一个旋转的磁头上，以提供出色的沉积均匀性。为了增加方便，可以在磁控管/二极管溅射头内自动或手动改变目标。BALZERS/UNAXIS LLS 900还与各种工艺材料兼容，包括金属、陶瓷、合金、氧化物和氮化物。资产的多功能性和灵活性使其适用于半导体制造、薄膜器件制造、工业涂层等领域。此型号可满足最苛刻的生产要求,可提供延长的保修期,随时间推移提供卓越的性能和可靠性。