二手 CANON / ANELVA 1051 #9389730 待售

CANON/ANELVA 1051是行业领先的溅射沉积设备，用于物理气相沉积（PVD）。它是一个单目标系统，具有高速磁性型空气轴承主轴，允许在大面积和基板上进行高效、均匀的涂层。该机组配备了10个石英目标架、具有图形操作员界面的先进PLC（可编程逻辑控制器）、自动过程控制系统以及包括O2、CO2、Ar、Nitrogen在内的各种气体控制配置。CANON 1051能够实现高达400 nm/min的快速溅射速率和高达2000 v的目标电压。这使得它非常适合铝、不锈钢和钛等基材。它提供了具有缩回目标的两步过程,允许用户快速切换材料和气体以达到特定的性能要求。机器是完全自动化的，经验丰富的操作员能够实现可重复、高度精确的过程。ANELVA 1051配备了可调电源和频率范围，可以从0-3000瓦定制。另外还有一个工艺参数，如压力、气流、冷却主轴温度等，可供进一步定制。低真空压力监测、自动压力关闭、温度控制和水冷等安全特性确保了该过程的无风险完成。此外，还提供数字输出，用于对过程结果进行一般监测。总之，1051是一种可靠、精确、安全的溅射工具，可以让用户在周转时间短的情况下获得高效的效果。广泛应用于半导体、平板显示器、太阳能电池制造，因其精细先进的特点。