二手 CANON / ANELVA 1060 SV2+1 #9210357 待售

CANON 1060 SV2+1是市场上最先进的溅射系统之一。它是为超高速薄膜生长和沉积过程而设计的。它是一种多源溅射设备，利用两个阴极和一个凸起的下降坩埚。两个阴极可以是Magnetic （MP）或Planar （PP）型。凸起的下层crucible使系统能够在单个循环中用不同的材料覆盖基板的两侧。1060 SV2+1的应用范围广泛，包括显示器、半导体、光伏（PV）、光电行业。它能够溅射多层薄膜堆栈的复杂图样,对厚度、组成和层轮廓具有高度的均匀性和精确的控制。该装置也特别适合于氮化物薄膜的沉积。1060 SV2+1利用先进的现场监测和控制系统，确保基板质量和完整性在整个沉积过程中得到维护。它采用集成闭环机来监控和控制压力、温度、功率、电压和电流等各种基板参数。该工具还具有先进的视觉资产，可捕获基板的高分辨率图像，并允许快速和准确的过程调整，以确保一致性和可重复性。该模型还采用了自动负载锁，减少了基板交换和加工步骤之间的工作室污染。通过避免人工干预和台阶清洗，它确保了从负载锁到沉积室的清洁和快速转移。1060 SV2+1还提供了可选的低温预溅射工艺。此过程可用于蚀刻后清洗、高分辨率图样以及其他需要低温处理的步骤。总体而言，ANELVA 1060 SV2+1是一款高性能的溅射设备，因其精确的控制、广泛的应用以及原位监控系统而被广泛应用于许多行业。它为各种材料和基材尺寸提供了快速、高效和可靠的加工。该系统能够提供优异的效果，对于任何沉积过程都是强烈建议的。