二手 CANON / ANELVA 1060 #9155413 待售

CANON / ANELVA 1060
製造商
CANON / ANELVA
模型
1060
ID: 9155413
晶圆大小: 6"
优质的: 2002
PVD System, 6" Process: Ti / TiN / Wsi 2002 vintage.
CANON/ANELVA 1060是一种高性能溅射设备,专为研究内含而设计。这种独特的突角磁控管溅射(AAM)系统使研究人员能够以精确和可重复性将所需材料的超薄膜沉积到基板上。该装置采用完全封闭的LT溅射室,由源、靶、基板和控制模块组成,能够以各种腔室大小和形状对材料进行体积沉积。它还具有以磁性或平面构型溅射的能力,以获得所需的沉积剖面。该机配备了ABUDRUPT类型的交流等离子体源,允许在不同材料之间快速、方便地切换。这种磁性等离子体源与平面几何的组合保证了材料以均匀一致的方式沉积在基板上。CANON 1060独特的设计也使沉积过程得到更大的控制。可以用集成的双通道电源精确控制阴极电位,让精确量的材料在不同条件下溅射。该工具还具有可调节的射频电源,旨在提高沉积膜的均匀性。此外,该资产还配备了主动过滤器,旨在清除大气中的颗粒污染,提高溅射膜的均匀性。总体而言,ANELVA 1060是一种先进的溅射模型,能够制造出具有所需性能和均匀性的薄膜。它是为各种研究应用而设计的,从工业到科学,使得它成为任何人寻找可靠和可靠的溅射设备的理想选择。其创新设计允许精确控制沉积过程,确保一致的高质量薄膜。1060是任何为研究或生产需要而寻找尖端溅射系统的人的理想选择。
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