二手 CANON / ANELVA 1060 #9155414 待售

CANON/ANELVA 1060是一种用于薄膜沉积的溅射设备。CANON 1060是一种具有反应性溅射能力的脉冲溅射系统，可处理直径达8英寸的大小基板。ANELVA 1060可以在磁性和常规功率下运行,并在广泛的能级上提供稳定的独占蚀刻和薄膜沉积,具有卓越的可重复性。1060使用直流电源，可靠高效，无论电源或基板尺寸如何，都能保持恒定电压。这意味着CANON/ANELVA 1060可以很容易地调整以满足所需的沉积条件。CANON 1060还配备了测压单元和气流控制机，可实现精确的压力和气流输入。这允许精确控制溅射参数，如薄膜密度、均匀性和沉积层之间的间隙。ANELVA 1060还有一个独特的等离子体限制工具，可提高大表面积上沉积的均匀性。这一资产利用磁铁在真空室内产生磁场，用于控制等离子体并提供均匀的离子密度。另外，1060还能够有一系列不同的操作模式，如低压、高压和单频/多频溅射。这允许在沉积过程中具有灵活性，允许跨行业的广泛应用。CANON/ANELVA 1060还配备了环境传感器，可以监测腔室的环境温度，也可以测试有害排放。此外，CANON 1060的设计目的是通过监测和维护室内的安全环境来确保清洁和安全的操作。总体而言，ANELVA 1060是一种先进和可靠的溅射模型，可在各种底物上提供一致和均匀的沉积。其输出各种操作模式的能力可以实现广泛的应用，而其环境监测设备意味着1060可以在安全和有保障的环境中运行。