二手 CANON / ANELVA 7100 GT #9398911 待售

CANON / ANELVA 7100 GT
ID: 9398911
Sputtering system.
CANON/ANELVA 7100 GT是一种溅射设备,设计用于在各种基板上快速高效地沉积薄膜。它利用一个多目标平台,能够访问四个目标和处理直径不超过8英寸的基板。该系统还能够通过苏格兰胶带掩蔽和阴影效果掩蔽处理大面积基板。CANON 7100 GT的主要部件包括电子室、真空室、过程控制器、搅拌冰球和排气室。电子室负责控制溅射所需的高压。真空室是发生溅射的区域,也包含目标和基板。此外,真空室还配有冷阴极和开关磁体,以确保均匀沉积。过程控制器为溅射过程提供控制数据,并监视设备是否正常工作。搅拌冰球有助于搅拌、定位和卡带加载。最后,排气室过滤溅射的气体副产物.ANELVA 7100 GT可以沉积铝、铬、金、钛等材料,以及这些元素组成的合金。这些材料的沉积速率可以通过调整工作功率来改变,以适应预期的效果。此外,可以在室温和350-400°C之间的任何位置设置溅射过程温度,以优化沉积质量。7100 GT还提供各种操作模式,以满足不同用户的需求。这些都是手动模式,可以让用户轻松地控制整个溅射过程;程序模式,使整个过程自动化,非常适合大面积电影;和半自动模式,这是理想的小面积薄膜和基板定位。此外,机器还可以链接到计算机上,用于远程监控和控制参数。总体而言,CANON/ANELVA 7100 GT是一种先进的溅射工具,非常适合在各种基板上沉积薄膜。其多目标平台、可变功率和温度设置、操作模式、计算机链路和排气室使其成为研究和工业应用的绝佳选择。
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