二手 CANON / ANELVA APT 5800 #9158872 待售

CANON/ANELVA APT 5800是CANON Corporation开发的反应堆，作为多种材料的先进加工工具。这种工业级工具设计用于微电子、光电子、医疗电子等高压高温加工应用。它也被用于等离子体沉积、溅射沉积、碳纳米管沉积等多种其他工业和研究应用。CANON APT 5800利用专利的三维（3D）散热设备,能够精确精确地控制温度。该系统将ANELVA APT 5800渲染为一系列不同应用程序的强大工具。此外，这座反应堆还设有高功率气体分配装置，以及可精确控制高达11,600 °C温度的五区温控机。三维散热工具有助于确保对材料施加热量时效果一致。利用这一资产，温度仍然集中在晶圆的高度特定区域，从而产生更准确和统一的结果。此外,APT 5800采用先进技术设计,可最大程度地减少对相邻部件和设备的任何重大加热影响,同时保持工艺温度的精确控制。这样可以确保在广泛的应用中实现高质量的产品。此外，反应堆采用了淋浴头式气体扩散器，可实现精确和均匀的气体分布。此功能提供了改进的结果,例如提高了工艺稳定性以及改善了材料的附着力和控制力。CANON/ANELVA APT 5800还具有一个整体梯形缓冲器，设计用于安装气体扩散板的冲洗；这种设计允许一个更大的反应室，为更大的应用提供更大的容量。总之，CANON APT 5800是一种强大的反应堆，可用于多种高温处理应用。设计精密控制，精确度高，具有先进的技术元件，保证高质量的效果。该反应堆是任何需要在高压高温环境中精确温度控制的应用的完美工具。