二手 CANON / ANELVA C-7010 #9379072 待售

CANON/ANELVA C-7010是设计用于薄膜生产的高端溅射设备。该系统利用阴极电弧蒸发和磁控溅射技术将涂层沉积在陶瓷、金属和半导体等基板上。CANON C-7010能够在一定厚度范围内将指定材料均匀地应用到基板上，蒸发过程的许多关键参数能够得到调整。该装置采用标准的Turbocuspision阴极电弧源，能够提供尖锐的偏差和非常高的沉积速率。其中包括一台先进的预处理机，用于提高沉积过程中的均匀性和减少电弧事件。基板加热源是陶瓷红外散热器，可加热至500 °C，允许高温沉积和快速热退火等过程。该工具提供的其他功能包括Auto Film Thickness Monitor（自动薄膜厚度监视器）,这是一种自动功能,可用于补偿基板尺寸和厚度的差异,以及用于在基板两侧沉积薄膜的背面溅射源。该资产还能够进行基板操作,以允许复杂的基板形状和大小。ANELVA C-7010还包括一个高度高级的控制软件包,为用户提供用于作业设置、操作监视和数据日志记录的PLC和SCADA级别功能。随附的紧环腔室控制软件有助于保护模型不受磨损，确保膜沉积过程既有效又可重复。最后,C-7010还包括紧急停止等安全功能,以及用于高效空气净化的紧急排气设备。该系统已通过高级洁净室标准认证，并定期测试是否符合现有洁净室协议。