二手 CANON / ANELVA C-7100 #9154703 待售
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CANON/ANELVA C-7100是一种以优质薄膜沉积能力着称的高端物理气相沉积设备。该系统采用双阴极磁控管溅射技术，具有多种特点，适用于广泛的应用。CANON C7100的主体包括一个腔室，内部有各种组件。该室是氮气密封的，因此由于其有效的提取反应副产物而能够快速的沉积过程。电离量规在工件周围保持一个离子球，确保高表面纯度。它还具有一个涡轮分子泵，可以将腔室排空到大约1 x 10^-5 Torr或更高的压力。这个装置的设计是为了方便地处理各种物质。其标准配置提供了沉积纯金属、合金、化合物、陶瓷材料、有机材料等。此外,它的可伸缩平台支持对该过程进行高分辨率的顶视图观察。还提供了多用途设置,以便可以独立调整阳极和阴极参数。ANELVA C 7100内置了控制工件上薄膜沉积的过程,以及诸如开/关命令之类的远程控制功能和循环启动控制。它还包括冷却和加热功能，这些功能允许温度控制，这对于维持腔室中的恒定过程至关重要。这一设施进一步使沉积过程能够根据基材的类型、沉积模式和工艺温度进行微调。总体而言，ANELVA C-7100机是一种非常先进和可靠的溅射工具，适用于各种物质的薄膜沉积。其无与伦比的质量和精确的薄膜沉积，以及对各种参数的高效处理，使其成为业界备受追捧和可靠的工具。
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