二手 CANON / ANELVA C-7100GT #9281807 待售
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已售出
ID: 9281807
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
PVD System, 12"
(3) Chambers:
Chamber 1: TiN
Chamber 2: TiN
Chamber 3: SiO2 ETCH (A-CH)
Pre-clean chamber
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / - / D-Chamber
(4) / 99009-58901 / DC5KW Plasma generators Dual, QIP
(4) / 1055-08698 / Stages, RF 2PVD
(8) / 1055-17508 / Sheet, carbon stages
(4) / 1038-05492 / Quartz rings, PY362
(1) / - / D-Chamber rack
(1) / - / Cable
(4) / 1042-17090 / 25V 250W Heaters
(1) / 9007-58377 / Termo couple, RD310
(3) / 0111-90397 / Multi navi
(3) / N50023210 / Ion gauge controllers
(9) / N12004545 / Lamp heater powers
(3) / 9006-86546 / RF Power supplies 2KW (AX-20003A)
(1) / 9001-14094 / LL / Slit valve
(3) / 9001-13959 / PVD Slit valves
(4) / N20208864 / Z, Sensor controllers
(12) / 1042-17090 / 25V 250W heaters
(3) / 9007-58377 / Thermo couples, RD310
(3) / N50023131 / Stabil-ion gauges
(3) / N50025919 / Baratron gauges
(5) / - / Brakets
(20) / 1063-41277 / PLCs
(20) / 1071-76104 / PLCs
(20) / 1072-27727 / PLCs
(4) / 9007-60358 / Thermo couple controllers
(1) / 9007-61508 / CCD
(4) / 9007-58822 / CCD Cameras
(4) / N20208711 / Z, Sensor
(1) / 9014-41321 / TR Robot EE
(1) / 9009-87803 / EFEM Robot EE
(9) / - / Destrubting sheets
(1) / 1042-08203 / Lamp heater assy, connect
(1) / 1037-34502 / Heater base
(3) / 1042-17090 / 250W 25V Heaters, (2) assys
(1) / 1042-17171 / Cable, heater assy
(1) / 1023-20960 / Shutter shaft cover
(1) / 1037-27377 / Stage, RF (2) PVD
(8) / 1055-08698 / Springs, hold stage
(1) / 1055-17427 / Quartz ring, PY362
(3) / 1038-05492 / Quartz RPIN, L15xD5
(2) / 1046-92614 / Bolt, location al203
(3) / 1057-53934 / Stopper pins
(16) / 1035-18922 / H3 x 8, AG
(20) / N31000015 / S SUS304 WA x 3 Flat washers
(2) / TMF-403M / RF 2PVD
(10) / - / Shield adaptors
(10) / - / HE Elbows
(2) / - / Power cables
(4) / - / LID Lamp heaters
(1) / - / Maintenance USB port
(3) / - / PLC Racks
(1) / - / Heater connection box
(1) / - / SMKE Sensor
(1) / - / EMO
2011 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT Sputtering Equipment是一种用途广泛、高效的溅射系统,可用于将保形薄膜沉积到各种尺寸的基板上。它能够溅射电阻和电子束过程，以及多种薄膜类型、厚度和成分。CANON C-7100GT由一个紧凑的两级单元组成，该单元装有两个反应式（磁控管）和一个直流电溅射室。ANELVA C-7100GT专为更高功率的过程而设计，一次最多可沉积两层膜，允许膜的原位沉积，如金属和电介质的交替层，以及复杂的叠层和高纵横比结构。C-7100GT配有完全可编程的直流电源和固态继电器，以确保对所有工艺参数的精确控制。该机还可以配备可选的射频电源，用于磁控管溅射应用。除了溅射站之外，CANON/ANELVA C-7100GT还包含一个多室基板转移工具（MCT），用于从溅射室装卸基板。MCT使得及时更换基板更加容易，同时也允许方便的基板转移和加热腔室。CANON C-7100GT还具有高容量涡轮源，用于更精确的目标、高沉积速率和更大的涂层均匀性。在安全性方面，ANELVA C-7100GT具有真空互锁资产，可防止加工室打开，而该室没有得到适当的疏散。这与密封室一起，确保操作过程中没有危险气体暴露风险。C-7100GT还有一个集成的紧急停止按钮和热监测模型，以保护设备和操作员。总之，CANON/ANELVA C-7100GT溅射设备是一种高效且用途广泛的溅射系统，非常适合将保形薄膜和复杂的覆盖层沉积在基板上。它配有两个反应性和一个直流溅射室，以及一个多室基板传递单元和高容量涡轮源，用于精确的目标控制和高沉积速率。该机还融合了多种安全功能，如真空互锁工具、密封室、紧急停止按钮等。
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