二手 CANON / ANELVA C-7100GT #9293803 待售

CANON / ANELVA C-7100GT
ID: 9293803
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
System, 12" CANON / ANELVA xT (2) PVD Chambers 2006 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT溅射设备是一种先进的生产工具,可用于多个溅射应用。它是一种高性能、经济的溅射系统,旨在将金属和介电膜沉积到各种基板上。CANON C-7100GT配备了电子回旋共振(ECR)源,这使得沉积速度比标准溅射过程更快,并且提高了薄膜均匀性和更高的沉积速率。ANELVA C-7100GT是一个四室单元,由放置在一个真空室内的四个溅射源室组成。每个溅射源腔的设计目的是为需要涂覆均匀膜的表面产生高度均匀的目标材料层。它还有一个很大的目标区域,可以容纳200毫米大小的大型基板。它包括一台高精度的X-Y运动机器,允许在溅射过程中进行高度微调,以及一个自动化的环境控制工具,帮助管理和维护一个稳定的过程环境。C-7100GT能够利用各种溅射气体生产各种真空沉积膜,例如氙气、k气和氙气。它使用高频ECR发生器在低温下维持高沉积速率,从而提高涂层均匀性。此外,其较大的温度控制范围使CANON/ANELVA C-7100GT理想的特殊应用,如非常薄的薄膜沉积和特种涂层。资产还具有多项安全功能,如故障安全关机模型、车载数据记录设备以及运行温度和压力控制系统。总体而言,佳能C-7100GT溅射装置是一种可靠、高效的溅射应用工具。该机具有ECR源、高沉积率、目标面积大、温度范围广等特点,是生产产品表面和部件金属和介电膜的理想之选。这是一个经济的选择,是完美的长期,大批量生产和特种涂料的应用。
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