二手 CANON / ANELVA C-7150C #9107305 待售

ID: 9107305
Deposition System Vacuum pump: missing 1998 vintage.
CANON/ANELVA C-7150C是为薄膜沉积工艺设计的溅射设备。它是一个脉冲直流磁控管溅射系统,具有适用于研发实验室和制造业的紧凑设计。它具有全方位的溅射压力控制,允许快速高效的工艺优化。CANON C-7150C的舱体尺寸为170 x 170 x 500 mm,最多可容纳14个样品,无论是在船上还是在针式支架上。它配备了四个多磁控管,一个可旋转,两个静止和一个偏置。可转动磁控管头包括一个可调电极单元,允许在腔内进行目标优化,以确保膜沉积均匀。基板支架用内置的精细控制加热器进行热调节,使生产的薄膜具有极好的均匀性和可重复性。ANELVA C-7150C的控制单元配备了易于理解的用户界面,能够轻松配置和监控溅射过程。其他功能还包括高速真空泵,用于快速腔室疏散,减弧气流调节(对于容易受到弧线影响的材料),以及带有可选软件包的车载分析仪,用于进一步的过程控制和监控。机器在低工艺温度下运行,防止热敏材料受损,并提供低污染速率。此外,它的宽频率范围和可调电源使它可以同时用于低密度和高密度材料,同时用于保护性和装饰性涂层应用。总体而言,C-7150C为可靠的溅射沉积工艺提供了一整套功能,利用其精确的功率输出、均匀性和均匀薄膜涂层的稳定性。它非常适合需要高质量涂层的行业,如航空航天、汽车、光电、医疗、食品加工等。
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