二手 CANON / ANELVA C-7500L #293731713 待售

CANON/ANELVA C-7500L溅射设备是一种超高真空仪器，用于为薄膜结构沉积薄膜。主要用于存储器、耐用电子、太阳能电池、平板显示器等半导体器件制造工艺。它是当今最高效的溅射系统之一,因为它具有先进的自动化和控制功能,能够节省时间、精确和可靠的薄膜沉积。佳能C-7500L有两个溅射室，每个溅射室有三个不同金属和合金的独立靶标。这允许以严格的精度沉积多层、高度复杂的结构。它还允许沉积具有标准溅射系统无法达到的特性的薄膜。溅射系统的主要部件包括等离子发生器、离子源和溅射枪组件。等离子体发生器产生一个电离气体或等离子体，然后由溅射枪引导到基板上。离子源用于为溅射过程提供离子，溅射枪组件包括阳极、阴极、磁控管和电源。ANELVA C-7500L还具有RF发电机功率、溅射时间、气体压力和基板温度等多种可调节的工艺参数。这使得C-7500L非常适合用于研发，因为具有多种成分和厚度层的精密薄膜可以高精度地生产。CANON/ANELVA C-7500L具有较高的通量速率，与其他溅射系统相比，可以更快地沉积薄膜。此外，该单元的软件高度用户友好，并提供了多种分析和控制功能。该机还包含一个功能强大的数据记录工具，使用户可以轻松收集和分析薄膜数据。总体而言，CANON C-7500L是一种多功能高效的超高真空溅射资产，非常适合研发。它能够生产具有标准溅射系统无法达到的性能的薄膜，并具有快速、精确沉积的可编程工艺参数。其软件用户友好性强，通量率高，是薄膜沉积的理想选择。