二手 CANON / ANELVA E-730S-FH #9167771 待售

CANON/ANELVA E-730S-FH是一种用于半导体制造的溅射设备。该系统能够在晶片上溅射介电层和金属层。它还可以溅射陶瓷和合金层。CANON E-730S-FH允许用户轻松控制工艺参数，如气体压力、氙气（AR）压力、温度和沉积气体压力。这些参数可以调整以满足用户的需求。该单元还具有脉冲蚀刻功能，允许用户调整脉冲蚀刻以优化其沉积速率。ANELVA E-730S-FH具有直径960毫米的溅射室。这样可以溅射尺寸不超过13英寸（312.85毫米）的大型晶片。该机还配备了双频电源,可提供多达4.2kW个的电源。该电源可用于产生直流和高频射频溅射沉积。E-730S-FH旨在提供高质量、可靠和高效的溅射。它配有闭环气体控制工具，以确保在整个溅射过程中保持所需的工艺参数。这一资产可用于溅射各种材料，如铝、铜、铬、​​的，以及薄膜。该模型还具有真空控制设备，有助于确保沉积材料的高纯度。该系统旨在避免空气泵降低沉积速率，同时也是为了限制真空室中积聚的灰尘。CANON/ANELVA E-730S-FH配备了视觉和声音警报。如果过程中出了问题，操作员可以用报警指示灯轻松监控机组状态。该机器还使用户能够将多个系统链接在一起，并以自动化的方式安全运行它们。此功能允许多个溅射系统同时运行,同时确保所有部件正常运行。此功能有助于提高效率并降低溅射成本。总体而言，佳能E-730S-FH是一种可靠高效的溅射工具，能够产生高质量的沉积层。此资产可用于研究和制造应用。