二手 CANON / ANELVA E-800S #293830303 待售

CANON/ANELVA E-800S溅射设备是一种最先进的薄膜沉积工具，设计用于各种生产和研究应用。该系统采用自动密封室设计，最多可安装八个装载锁，以便快速装载基板。该装置能够使用最先进的溅射技术，包括离子辅助溅射、高密度磁控管溅射、反应性溅射和脉冲直流溅射。佳能E-800S具有两个主要的溅射系统，一个24通道电阻源和一个18通道高密度磁控管源。根据所需的沉积，这两个来源都可以配备不同的目标材料，并且可以组合用于更复杂的薄膜结构。ANELVA E-800S还采用双离子和三离子辅助溅射技术,利用两个或三个离子源同时工作,增加撞击离子的能量,降低底物的电荷,提高沉积均匀性。这一特点还允许几乎任何材料以最高质量沉积，包括难以沉积的基材，如钻石和硅基材料。此外，E-800S具有低HiPIMS（高功率脉冲磁控管溅射）模式，使沉积速率增加一倍，同时保持同样优质的薄膜。这台机器上的其他选项还包括一个手载源和氙气、氢气或氮气电容耦合等离子体源。这些替代沉积技术可提供高沉积速率、低附着力和优异的均匀性。CANON/ANELVA E-800S配备了先进的计算机工具，包括直观的触摸屏界面和实时数据采集，用于全面的流程和工具性能监控。该资产还具有自动过程控制和自动校准腔室参数的功能。开放、用户友好的软件使存储、处理和生成食谱变得容易。作为一个附加的安全特性，该模型包括一个可选的互锁开关，它可以防止在打开腔室时意外激活源。总体而言，佳能E-800S是一种高度先进的溅射设备，能够提供极其均匀可靠的薄膜沉积。该系统具有多种自动化功能,可用于最具挑战性的沉积要求。无论是研究还是工业生产，ANELVA E-800S都是一种可靠高效的薄膜沉积工具。