二手 CANON / ANELVA EVC-1501 #293816779 待售

CANON/ANELVA EVC-1501是一种独立的三室溅射设备,设计精巧,符合人体工程学设计,非常适合小型生产运行。该系统设计用于将薄膜和其他专用涂层高效、高效和经济的大体积沉积到平坦、弯曲、圆柱形和其他形状的基板上。佳能EVC-1501有三个腔室，一个过程/负载提升腔室，一个基板转移腔室，和一个真空腔室。工艺/负载提升器室由隔热双壁工艺提升器和空气提升台组成。Process Lifter升降基板，用于基板的装卸。基板转移室允许多个基板在腔室之间转移。真空室施加真空以维持所需的溅射压力。ANELVA EVC-1501有各种溅射源。气动溅射枪允许大面积或小面积的高均匀性溅射。该单元还使用了磁溅射枪和电子束枪，用于高纵横比组件和复杂结构的溅射。该单元还使用了旋转溅射枪，用于更大的几何形状和均匀性。EVC-1501具有多功能控制机器，可以定制和存储，以便于召回。此工具使用Program Teacher Asset来简化复杂的沉积过程。该装置还有一个自动压力控制模型（APCS），可以连续监测溅射压力，以维持一个均匀的过程。CANON/ANELVA EVC-1501允许各种工艺,例如金属、氧化物、氮化物和复合材料的溅射。该设备用途广泛，足以溅射玻璃、塑料、金属、陶瓷和半导体等多种基材，以及用于数据存储、微电子和硬质涂层的薄膜应用。CANON EVC-1501具有集成的用户友好界面,用于参数设置、配方起草和编辑、过程监控、空气通道隔离等功能。内置了电气安全互锁、工艺盖和排气口等安全特性，都保证了操作员的安全。ANELVA EVC-1501具有耐用的结构，是一种可靠高效的溅射系统，可确保高效可靠的薄膜涂层和快速的周转时间。该单元的用户友好界面提供了灵活性和便利，允许定制和一致的沉积过程。