二手 CANON / ANELVA EVC-1501 #9031250 待售

CANON/ANELVA EVC-1501是一种高真空溅射沉积设备，用于将高质量、均匀分布的薄膜沉积到基板表面。它专为非常苛刻的工业和研究应用而设计，如印刷电子和OLED显示器。该系统配有一个锁载室，在过程中提供低压环境，使溅射过程能够在受控条件下进行。CANON EVC-1501可以在平面或旋转溅射模式下运行,并且能够同时进行单目标和多目标溅射。该单元有一个多区域处理室，称为可变控制区（VCZ），它允许用户控制所创建涂层的强度和均匀性。VCZ能够移动基板相对于目标的位置,从而使溅射过程能够按照用户要求进行自定义。该机配备了高强度直流磁控管溅射源，能够制造出附着力和均匀性都较高的薄膜涂层。由于其低溅射设计，其使用寿命延长，能够以较高的沉积速率运行。该工具具有用于溅射的2.4kW射频功率放大器，可调节功率范围为30-150 V。它还配备了变频发电机，用于提高对溅射过程的精度和控制。该资产还带有自动气体控制功能,能够对沉积气体流动进行精确控制。此外，该模型有一个穿梭载体，允许基板被快速和容易地转移。它还配备了计算机控制设备，便于访问软件、网络和外围设备控制。该系统还具有氮气净化功能，确保适当的溅射后清洗腔室。最后，ANELVA EVC-1501是在工业和研究应用的基板上溅射薄膜的经济高效可靠的解决方桉。它以其令人印象深刻的锁载室、可变控制区、调节功率放大器、自动气体控制、航天飞机载波和计算机控制单元而与典型的溅射系统区别开来。所有这些功能都能产生经济高效的高性能溅射机器,非常适合当今苛刻的研究和工业溅射需求。