二手 CANON / ANELVA EVC-1501 #9048865 待售

CANON/ANELVA EVC-1501是一种先进的高精度溅射设备，能够进行精确的金属或介电薄膜沉积。它利用先进的特性，如提高沉积速率和质量，由于亚微米层厚度精度是采用电子，光电，和MEMS应用。该溅射系统利用电子束枪进行质量中和和电磁环境控制（EMEC）单元，使其亚微米层厚度一致。沉积速率高，稳态工作压力约为0.1 mBar至1 mBar，最大目标电流为150 mA。此外,绝缘电压可调从0到150 V,允许您根据需要调整涂层的厚度和均匀性。此外，沉积可以在反应性或非反应性大气中进行，其室温操作能力可达15个单位。该机还配备了高性能的高真空涡轮分子泵，为操作室提供了快速、高效的疏散速率。此外，该工具还具有先进的粒子监控器和泵降监控器，可对疏散过程进行高级控制。这有助于准确可靠的沉积过程。CANON EVC-1501还具有高速率输出脉冲发生器，允许用户实施快速脉冲溅射。它进一步允许用户采用各种模式控制功能，如氧化物-氮化物薄膜沉积、晶粒尺寸控制和介电性能控制。整体而言，ANELVA EVC-1501溅射资产是为金属或介电薄膜的沉积而设计的先进、精确的溅射模型。它具有改进沉积速率和质量的多项先进特点，如改进亚微米层厚度精度、可调绝缘电压和优质真空涡轮分子泵，以便高效排空。它还允许应用许多属性，从而实现高层均匀性和广泛的应用。