二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9107302 待售

CANON/ANELVA EVC-1701是为沉积、薄膜涂层和蚀刻应用而设计的高性能微溅射设备。该系统是满足新出现的真空涂层需求的高效、经济高效的选择。该单元采用单阴极工作室与电动倾斜调节等离子体均匀性.腔室由低振动特性的铝和不锈钢构成，并配有内置真空泵。包括多功能快门控制器和手动调节气闸门。阳极由高频发电机供电，可用于控制功率密度、脉冲宽度和频率。这样可以精确控制涂层工艺。机器使用直流电源，在高达1千安的电流下输出电压可调0至1,500伏。CANON EVC-1701工具装有三级溅射枪。该枪包括水冷资产，可调节功率水平和各种沉积形状如圆，线，正方形和三角形。水冷模型减少了对基板的热损伤，并确保了一致的溅射速率。该设备可用于多种基材，包括金属、玻璃、塑料和陶瓷。它设计用来在不规则形状和非矩形基板上生产均匀的膜涂层。其他功能包括用于控制沉积区域的前窗口选项。窗户由耐腐蚀石英制成，能够承受高达1,000 °C （1832 °F）的温度。ANELVA EVC-1701系统设计紧凑,安装空间最小,可轻松集成到任何生产线中。通过其用户友好的操作面板和数字显示器,EVC-1701溅射装置为众多应用程序提供了理想的解决方桉。