二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9181769 待售

CANON/ANELVA EVC-1701溅射设备是一种高科技的自动化系统,旨在生产各种金属和材料的薄膜,用于工业应用。该装置结合了佳能溅射沉积技术和C-1701真空沉积控制器，实现了优化性能。它具有先进的溅射技术，包括用于平面和凸面应用的双磁控管配置。佳能EVC-1701能够为各种器件结构生产低沉积率和高沉积率的薄膜。该机设计为在超高真空（UHV）条件下运行，可以处理广泛的溅射化学和底物温度。内置设备可以准确监测和控制关键参数，如溅射速率、气体流量、电离速率、薄膜厚度和沉积速率。该工具配备了一系列专门的配件，以促进溅射工艺的最佳定制。这些配件包括一系列基板、基板加热器、准直器、靶板和衬板。基板加热器可精确控制基板温度,可达350 °C的温度。准直仪用于控制溅射羽流的形状和面积。ANELVA EVC-1701还具有精密的气体输送资产，可对溅射过程和结果进行最佳控制。自动气体箱的设计既能产生低压和高压溅射条件，又能可靠地满足不同溅射过程和薄膜沉积速率的要求。总体而言,EVC-1701是生产优质设备的紧凑高效模型。它采用先进的溅射技术设计，能够对沉积过程进行可靠的控制。设备方便定制，使用方便。CANON/ANELVA EVC-1701具有自动化气体输送系统和内置设备,非常适合用于先进的工业应用和设备制造。