二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9282622 待售

CANON/ANELVA EVC-1701是设计用于生产半导体器件的高级溅射设备。它利用先进技术将各种材料精确地沉积到基板上，如用于屏障和钝化层的材料。该系统采用集成的自动化功能，可确保在大型基板上保持一致的沉积速率和均匀性。该装置配有两个大的6孔旋转阴极，可以容纳和溅射各种材料，如铝、铜、精美、氯等。它还包括一个高频磁场，有助于在过程中创建和维持一个均匀的沉积层。该机器包括一个多盘基板机器人转移工具，它能够准确快速地将各种大小和形状的基板从主室转移到装卸位置。这一特点促进了多种基板的最佳处理和高效生产，确保了最小程度的破损和污染。资产配备了高精度晶圆取向模型，使晶圆能够精确地放置到沉积源。这有助于避免由于方向不正确或对齐错误而造成的物理损坏。此外,该设备还具有内置个人计算机和触摸屏用户界面,可提供简单、用户友好的体验。该系统还可以与外部计算机单元集成，实现远程操作和监控。佳能EVC-1701机器不仅精确度高，而且能效高。该工具配备了多种节能功能，如可移动快门，限制沉积面积，防止杂散等离子体进入工作区。这有助于节约能源和减少资产中的热量积累。总体而言，ANELVA EVC-1701是将材料溅射到基板上生产半导体器件的极其可靠的来源。它高效、准确，可以容纳各种各样的材料。其众多的自动化功能和节能设计使其成为那些寻求经济高效的解决方桉来满足其半导体生产需求的人的理想选择。